標題:
什么是MEMS？
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作者:
h_小妃
時間:
2012-10-19 09:37 AM
標題:
什么是MEMS？
MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
一、MEMS简介
MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。
完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。
二、MEMS的相关技术
1．微系统设计技术
主要是微结构设计数据库、有限元和边界分析、CAD/CAM仿真和模拟技术、微系统建模等，还有微小型化的尺寸效应和微小型理论基础研究等课题，如：力的尺寸效应、微结构表面效应、微观摩擦机理、热传导、误差效应和微构件材料性能等。
2．微细加工技术
主要指高深度比多层微结构的硅表面加工和体加工技术，利用X 射线光刻、电铸的LIGA 和利用紫外线的准LIGA 加工技术；微结构特种精密加工技术包括微火花加工、能束加工、立体光刻成形加工；特殊材料特别是功能材料微结构的加工技术；多种加工方法的结合；微系统的集成技术；微细加工新工艺探索等。
3．微型机械组装和封装技术
主要指粘接材料的粘接、硅玻璃静电封接、硅硅键合技术和自对准组装技术，具有三维可动部件的封装技术、真空封装技术等新封装技术。
4．微系统的表征和测试技术
主要有结构材料特性测试技术，微小力学、电学等物理量的测量技术，微型器件和微型系统性能的表征和测试技术，微型系统动态特性测试技术，微型器件和微型系统可靠性的测量与评价技术。
随着一切都智能化，许多企业崛地而起，其中飞瑞敖电子科技有限公司是成立于2006年，注册资金2138万，公司致力于将光通信技术、无线局域网技术、嵌入式系统和射频识别（RFID）技术融为一体，构建基于WiFi国家标准和光载无线电技术的统一物联网信息平台。公司于2011年通过高新技术企业认定和广州市民营科技企业认定，飞瑞敖公司的物联网信息平台核心产品-光载无线交换机和WiFi无线网络设备获得国家科技型中小企业技术创新基金立项证书，于2012年被认定为广东省重点新产品，获得科技成果登记证书；于2011年获得由广东省科技厅主持的科技成果鉴定证书，认定且通过了“2010年广东省高新技术产品”。
飞瑞敖拥有国内一流的专家队伍及优秀的研发团队，并聘请光纤通信、无线局域网和计算机技术领域的国内外知名专家进行技术指导，已突破光载无线交换系统和WiFi网络器件研究中的多项关键技术，成功地实现了基于该系统的新一代物联网工程信息平台。
飞瑞敖公司已经申请十三项核心产品发明专利、授权四项，取得四项计算机软件著作权和通过两项产品登记。公司承担了2011年广东省产学研合作项目、2010年广东省中国科学院全面战略合作项目和科技部科技型中小企业创新基金项目，其产品研发处于国际领先水平，填补了国内外光载无线技术及大范围WiFi覆盖领域的空白。
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